真空碳管燒結(jié)爐有什么作用呢?
發(fā)布日期:2019-12-12 瀏覽次數(shù):1561
真空碳管燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟(潤(rùn)滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行,燒結(jié)時(shí)需要對(duì)燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。 真空碳管燒結(jié)爐主要用于工業(yè)陶瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷、金屬陶瓷、硬質(zhì)合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結(jié)設(shè)備。系周期作業(yè)式電爐,它是以優(yōu)質(zhì)石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐,額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下,允許在保護(hù)氣氛中,短時(shí)間工作到2400℃-2500℃??晒┙饘佟㈦y熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護(hù)氣氛中加熱之用。
電爐為立式真空電阻爐,它由爐身、爐蓋、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等部分所組成。爐身采用水冷夾層結(jié)構(gòu)。爐蓋可以借彈簧力開啟。爐體上設(shè)有二個(gè)觀察窗,可以觀察工件加熱的碳管電阻爐情況。爐內(nèi)裝有石墨電極,它是由相互絕緣的兩個(gè)半圓組成的石墨發(fā)熱體接觸的表面采用圓柱面結(jié)構(gòu)。石墨發(fā)熱體在其縱向開了數(shù)條細(xì)縫,以增加電阻,并使發(fā)熱體可以一端通電,而另外一端在加熱時(shí)允許自由的膨脹。發(fā)熱體的周圍有多層石墨纖維隔熱屏裝置,其組裝在一起便于取出爐外。
真空系統(tǒng)是由擴(kuò)散泵、機(jī)械泵以及真空閥等組成。真空的測(cè)量采用熱偶真空計(jì)和電離真空計(jì)。電氣系統(tǒng)由可控硅電壓調(diào)整器、低電壓變大電流變壓器和控制柜所組成。